半導體保溫管道電加熱夾套

簡要描述：半導體保溫管道電加熱夾套：DIFF、ETCH、CVD、EPI部門，Pumping line和Pump exhaust管路需加裝加熱夾套。

產品型號： VC-DJR-150

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更新時間：2023-11-20

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半導體保溫管道電加熱夾套的前因：

由于半導體生產常常需要使用各種化學氣體，這些氣體也會隨著工藝的過程，由真空泵從反應腔體抽出，形成各種有毒有害的工藝尾氣，這些氣體如直接排到大氣中就會形成大氣污染。所以半導體生產廠家都需要對工藝設備尾氣進行有效的處理，以減少對環(huán)境的污染。因此，在半導體制造機臺中，尾氣處理裝置是半導體加工中的BB工具。在等離子體干法刻蝕過程中，氣體供給口提供的氣體主要由Cl2、CF4、SF6、O2、He、BCl3等，經過在真空反應室內的一系列反應后，氣體排出口排出的尾氣主要包括TiClx、AlClx、MoClx、MoFx、SiO2。由于上述尾氣極易在室溫下結晶，因此尾氣處理過程中結晶體會附著在排氣管的管壁上，極易對排氣管進行堵塞，同時造成排氣管的損傷。此過程會造成尾氣處理不CD，同時提高生產成本。

需要加熱馬甲的部門：

DIFF、ETCH、CVD、EPI部門，Pumping line和Pump exhaust管路需加裝加熱夾套。

加熱馬甲作用：

通過升高管路工作溫度，減少管內介質結晶，避免管路堵塞，減少PM周期，提高產能。

加熱馬甲溫度要求：

PVD：150°、170°（也有180°）

ETCH：80°-120°

半導體保溫管道電加熱夾套